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LSV3-紧凑准分子激光微加工系统
: 商品货号：ECS002619; 商品品牌：Optec; PDF 文档： LSV3-紧凑准分子激光微加工系统details Document

详细介绍

LSV3-小型微加工系统

极短的准分子激光脉冲输出10-20mJ，相当于兆瓦的峰值功率，可以应用在快速成型，微加工和微电子领域。

可用于生物芯片、聚酯、玻璃、硅片、薄金属、陶瓷等材料的加工。

相比其它准分子激光器ATLEX的优势：

特性和规格:

机器类型	LSV3头部含n.a。0.2 193nm镜头, 同轴照明及颜色聚焦。TTL 检视。
结构	黑色亚光处理，焊接钢框架,辉长岩基地，桥形结构，蜂巢形光学控制台，光学滑轨。
激光源	ATL Atlex准分子激光。
能量控制	AT4010 5-85%手动，外加通门控制
面罩的光束控制	动态系统镜面
面罩	机械线性顺序选择器
德马格设计	德马格开关:10X & 16X
目标成像分辨率	1.5μm
目标区	达10J/cm²
零件支撑	TBD
零件移动	100×100mm 运动区域,150×150mm 选择范围
位置重复性	1μm
速度	200mm/s(受软件限制)
系统控制	工业PC, A3200 控制器，过程功率2010
Beath路径	管式，冲刷式
安全性	互锁功能，符合CE标准，轻型塔式

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