IPEX^TM 840/860系列工业级准分子激光器

应用于电子、通信、半导体、医疗设备和脉冲激光沉积的工业级准分子激光器

ª 采用ICON^TM技术，延长气体寿命，降低成本

ª EasyClean自动密封镜片功能，可在清洗更换镜片时密封激光腔

ª 可选高亮度光学元件，来满足要求小发散角和长相干长度的应用

ª 高稳定镜片支架可获得极高的光束指向精度

ª 易于集成到工业加工系统

IPEX-840/860系列准分子激光器性能优越、可靠性高，广泛适用于使用要求高、生产负荷重的各种工业制造领域，如电子、半导体和医疗设备制备以及脉冲激光沉积（PLD）等应用。由于采用了ICONTM(镍基集成陶瓷)技术，IPEX系列激光器既降低了运行成本，又能提供优秀的光学性能。对于需要长工作光路和小发散角（激光雷达），或需要长相干长度（FBG刻写）以及需要改进聚焦性能的场合，可以选择高亮度（非稳腔）镜片。IPEX-840/860系列激光器具有易于使用、便于维护和运行经济的特点，它将高精密准分子激光加工、低运行成本和高运行时间很好地结合在一起，是一款不可多得的优秀的准分子激光器。

特点

ª ICON激光腔

ª EasyClean自动密封镜片功能

ª 先进的镜片支架

ª 专利的腔镜固定技术

ª 能量稳定控制

ª 预电离

ª 内部气体过滤设备

优点

ª 气体寿命长，更换时间间隔长，运行成本低

ª 简化了光路维护，填充气体和钝化效果保持长久

ª 200μrad指向稳定性

ª 镜片清洁重装后不需要重新调节

ª 快速、精确、稳定的能量控制，可选内、外触发和Burst工作模式

ª 优异的能量稳定性，≤1.5% (KrF)

ª 去除微粒，保持主镜片洁净

规格

激光器规格参数详见产品手册或者咨询我司销售。

• TEC-30 智能实验室激光器系统 - Cheetah系列
• TEC-70 智能蝶形激光器系统- Cheetah系列
• TEC-42 纳秒脉冲激光器-Cat系列
• LSV3-紧凑准分子激光微加工系统
• MicroMaster准分子激光微加工系统
• ProMaster终极紧凑准分子激光微加工系统
• MAS-300准分子激光微加工系统
• LB-R1准分子激光微加工智能系统
• Light Bench-Rx准分子激光微加工系统
• 飞秒激光加工机床FemtoFAB
• 实验室用飞秒激光加工系统 FemtoLAB
• 激光雕刻系统ELS-03, ELS-04
• 激光电缆打标机
• PLD系列准分子激光器
• LAP2000 Laser Processing Tool
• ATLEX-1000-I 高重频准分子激光器
• 可定制脉冲激光沉积（PLD）系统