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FemtoFAB飞秒激光微加工系统

FemtoFAB飞秒激光微加工系统是一个专为特定工业过程设计的交钥匙激光加工系统。根据特定的激光微加工应用选择并仔细调整配置。系统采用1级激光安全外壳保护,通过先进的SCA工程软件窗口控制。


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商品描述

FemtoFAB飞秒激光微加工系统是一个专为特定工业过程设计的交钥匙激光加工系统。根据特定的激光微加工应用选择并仔细调整配置。系统采用1级激光安全外壳保护,通过先进的SCA工程软件窗口控制。




特点:

高制造速度 - 高达 500 毫米 / 秒(或更高的要求)

具有亚微米分辨率的复杂物体的制造

最小热影响区

具有亚微米精度的精确物体定位

高性能扫描振镜

脉冲精确控制

激光脉冲与运动目标的时空同步

用于控制所有集成硬件设备的原创软件界面


应用:

陶瓷划片

玻璃切割

蓝宝石切割

激光钻孔

太阳能电池的制造

双折射图案的制作

FBG 刻写

光通信元器件

心血管支架加工

PI 管微孔


高速度:

高可靠的工业级飞秒激光微加工系统,同步线性定位位移台和扫描振镜,在高速非熔融加工中优势显著。


纳米分辨率:

高分辨率目标定位系统、激光定位系统(扫描振镜)和激光脉冲选择器三者同步,实现对空间、时间和能量的完全控制。对难于加工的样品,可实现亚微米分辨率的加工。对于工业用飞秒激光微加工的技术规范,FemtoFAB是基于任务而定义,并达到优化。


主要组成部分:

激光光源

样品定位系统

光束传递和扫描装置

激光功率与偏振控制

系统控制软件(可选自动对焦和机器视觉)

样品夹持和特殊机械件(可选样品自动化处理)

光学平台

保护外壳(完整或部分)

除尘装置

激光微加工系统自动化软件 SCA(该软件是激光系统的重要组成部分,不单独销售) 。


参数

指标

脉冲宽度

100fs-10ps

重复频率

单脉冲-2MHz

平均功率

最高20W

脉冲能量

最高2mJ

波长

1030nm、515nm、343nm、258nm、206nm

定位精度

±100nm

行程

25x25mm-300nmx300nm(可定制)



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