北京超立方科技有限公司
FemtoLAB实验室专用激光微加工系统是科学实验室的解决方案。配备高精度线性定位平台,高性能的扫描振镜和多功能软件SCA,FemtoLAB成为光学平台上的全套激光实验室。
特点:
◆ 高速精密微加工;
◆ 高端工业级飞秒激光器;
◆ 具有亚微米分辨率的难于加工样品的制造;
◆ 飞秒微加工模式下的很小热影响区;
◆ 纳米精度目标定位;
◆ 采用扫描振镜,实现精确的激光束引导;
◆ 激光参数的灵活变化;
◆ 用于控制所有集成硬件设备的独创软件界面;
应用:
◆ 表面微纳结构;
◆ 激光诱导周期表面结构(LIPSS);
◆ 逐点刻写光栅-掩膜板;
◆ 激光光刻和多光子聚合;
◆ 材料内部折射率修正;
◆ 激光+湿法刻蚀;
◆ 脆性材料切割;
◆ 光波导的制备;
◆ 飞秒剥蚀(FS-LA-ICPMS);
◆ 5D光储存;
◆ 微流体;
◆ 激光焊接;
◆ 钻孔;
◆ 选择层的去除;
◆ 量子芯片;
◆ 钙钛矿电池;
◆ 硅光芯片引线键合;
◆ 雕刻;
FemtoLAB飞秒激光微加工系统提供各种任务的解决方案,是科学实验室需要的理想选择。我们的技术能力和应用经验,可以优化FemtoLAB系统,节省宝贵的实验时间,方便新用户的培训。
飞秒激光微加工系统具备成熟的灵活性,对于新的要求,FemtoLAB允许进一步扩展和升级系统。
飞秒激光微加工系统FemtoLAB技术规格取决于最终用户需要实现的任务要求。
可以在下面列出的范围内,或有所不同。
主要组成部分:
◆ 激光光源;
◆ 样品定位系统;
◆ 光束传递和扫描装置;
◆ 激光功率与偏振控制;
◆ 系统控制软件(可选自动对焦和机器视觉);
◆ 样品夹持和特殊机械件(可选样品自动化处理);
◆ 光学平台;
◆ 保护外壳(完整或部分);
◆ 除尘装置;
◆ 激光微加工系统自动化软件SCA(该软件是激光系统的重要组成部分,不单独销售)。
参数
指标
脉冲宽度
100fs-10ps
重复频率
单脉冲-2MHz
脉冲拾取器
单发脉冲,可根据需求基础脉冲任何细分
平均功率
最高80W
脉冲能量
最高2mJ
波长
1030nm、515nm、343nm、257nm、206nm
重复定位精度
±75nm(±50可选)
行程
25x25mm-300nmx300nm(可定制)
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