高性能,多功能准分子激光微加工系统-庞大的系统融入紧凑,符合人体工学的结构。
特点:
1. 激光光束量度高且短脉冲
2. 电脑控制无级变缩防护光学系统
3. 在刚性花岗岩框架上协调X,Y进行零件定位,分辨率为- 1µm
4. 机动Z轴/焦点控制
5. TTL和导航相机, PRS可选
6. 综合流程功率软件
7. CAD/CAM界面
8. 快速响应时间,友好的用户使用界面
典型应用:
1. 选择性的去除聚合物
2. 微型钻孔/开槽
3. 微铣削/表面结构
4. 3D结构,含透镜
5. 薄金属膜图案
6. OLEDs,微流体,传感器
7. 聚合物-陶瓷-金属-无机材料
性能:
— 激光微加工具有最小热影响区的材料包括各种不同的聚合物,陶瓷,玻璃,金属,薄膜。在248nm和193nm间可用光学转换套件转换。
— 典型特征规格5mm – 2mm。掩模选项包括32位主题选择,和/或MRA矩形形状选项。组合图案可能通过组合主题选择激光发射和部分移动来建立复杂模式超过300×300mm。
— 通过聚光透镜可观测到零件,它具有独特的共焦特性;当零件在CCTV监视器上显现处于焦点之上时,激光束会自动的在零件上对准焦点,发出激光对突出区域进行精确加工。
— 选择不断变化的demag,4-20X最好的适合程序,全自动的调节(独特的MM特点)
— 适应不同材料的能量密度范围0.25-10J/cm2,友好的车载适航程序帮助确定最佳工艺参数。
— 材料完美的深度控制依赖加工率0.05 – 5mm/激光射击, S / W例程帮助确定最佳条件。
— 分辨率1.5 µm;阶跃对比函数15-85% 1.5µm
— 屏幕宽高比依赖于材料与能量密度,在10°墙壁角与接近0锥度之间
操作简单:
1. 集成化系统
2. 加工位置用户可自调
3. 互锁安全罩
4. Class 1激光系统
5. 符合CE标准
要求:
单相电源220 VAC/115 VAC
预混合且充足的气体