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FemtoLAB飞秒激光微加工系统

FemtoLAB实验室专用激光微加工系统是科学实验室的解决方案。配备高精度线性定位平台,高性能的扫描振镜和多功能软件SCA,FemtoLAB成为光学平台上的全套激光实验室。


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商品描述

FemtoLAB实验室专用激光微加工系统是科学实验室的解决方案。配备高精度线性定位平台,高性能的扫描振镜和多功能软件SCA,FemtoLAB成为光学平台上的全套激光实验室。




特点:

高速精密微加工

高端工业级飞秒激光器

具有亚微米分辨率的难于加工样品的制造

飞秒微加工模式下的很小热影响区

纳米精度目标定位

采用扫描振镜,实现精确的激光束引导

激光参数的灵活变化

用于控制所有集成硬件设备的独创软件界面


应用:

表面微纳结构

激光诱导周期表面结构(LIPSS)

逐点刻写光栅-掩膜板

激光光刻和多光子聚合

材料内部折射率修正

激光+湿法刻蚀

脆性材料切割

光波导的制备

飞秒剥蚀(FS-LA-ICPMS)

5D光储存

微流体

激光焊接

钻孔

选择层的去除

量子芯片

钙钛矿电池

硅光芯片引线键合

雕刻


FemtoLAB飞秒激光微加工系统提供各种任务的解决方案,是科学实验室需要的理想选择。我们的技术能力和应用经验,可以优化FemtoLAB系统,节省宝贵的实验时间,方便新用户的培训。

飞秒激光微加工系统具备成熟的灵活性,对于新的要求,FemtoLAB允许进一步扩展和升级系统。

飞秒激光微加工系统FemtoLAB技术规格取决于最终用户需要实现的任务要求。

可以在下面列出的范围内,或有所不同。


主要组成部分:

激光光源

样品定位系统

光束传递和扫描装置

激光功率与偏振控制

系统控制软件(可选自动对焦和机器视觉)

样品夹持和特殊机械件(可选样品自动化处理)

光学平台

保护外壳(完整或部分)

除尘装置

激光微加工系统自动化软件SCA(该软件是激光系统的重要组成部分,不单独销售)。


参数指标
脉冲宽度100fs-10ps
重复频率
单脉冲-2MHz
脉冲拾取器
单发脉冲,可根据需求基础脉冲任何细分
平均功率最高80W
脉冲能量
最高2mJ
波长
1030nm、515nm、343nm、257nm、206nm
重复定位精度
±75nm(±50可选)
行程25x25mm-300nmx300nm(可定制)


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