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FemtoLAB飞秒激光微加工系统

FemtoLAB飞秒激光微加工系统

FemtoLAB实验室专用激光微加工系统是科学实验室的解决方案。配备高精度线性定位平台,高性能的扫描振镜和多功能软件SCA,FemtoLAB成为光学平台上的全套激光实验室。


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商品描述

FemtoLAB实验室专用激光微加工系统是科学实验室的解决方案。配备高精度线性定位平台,高性能的扫描振镜和多功能软件SCA,FemtoLAB成为光学平台上的全套激光实验室。




 特点:

 ◆ 高速精密微加工;

 ◆ 高端工业级飞秒激光器;

 ◆ 具有亚微米分辨率的难于加工样品的制造;

 ◆ 飞秒微加工模式下的很小热影响区;

 ◆ 纳米精度目标定位;

 ◆ 采用扫描振镜,实现精确的激光束引导;

 ◆ 激光参数的灵活变化;

 ◆ 用于控制所有集成硬件设备的独创软件界面;

 

 应用:

 ◆ 表面微纳结构;

 ◆ 激光诱导周期表面结构(LIPSS);

 ◆ 逐点刻写光栅-掩膜板;

 ◆ 激光光刻和多光子聚合;

 ◆ 材料内部折射率修正;

 ◆ 激光+湿法刻蚀;

 ◆ 脆性材料切割;

 ◆ 光波导的制备;

 ◆ 飞秒剥蚀(FS-LA-ICPMS);

 ◆ 5D光储存;

 ◆ 微流体;

 ◆ 激光焊接;

 ◆ 钻孔;

 ◆ 选择层的去除;

 ◆ 量子芯片;

 ◆ 钙钛矿电池;

 ◆ 硅光芯片引线键合;

 ◆ 雕刻;

 

 FemtoLAB飞秒激光微加工系统提供各种任务的解决方案,是科学实验室需要的理想选择。我们的技术能力和应用经验,可以优化FemtoLAB系统,节省宝贵的实验时间,方便新用户的培训。

 飞秒激光微加工系统具备成熟的灵活性,对于新的要求,FemtoLAB允许进一步扩展和升级系统。

 飞秒激光微加工系统FemtoLAB技术规格取决于最终用户需要实现的任务要求。

 可以在下面列出的范围内,或有所不同。

 

 主要组成部分:

 ◆ 激光光源;

 ◆ 样品定位系统;

 ◆ 光束传递和扫描装置;

 ◆ 激光功率与偏振控制;

 ◆ 系统控制软件(可选自动对焦和机器视觉);

 ◆ 样品夹持和特殊机械件(可选样品自动化处理);

 ◆ 光学平台;

 ◆ 保护外壳(完整或部分);

 ◆ 除尘装置;

 ◆ 激光微加工系统自动化软件SCA(该软件是激光系统的重要组成部分,不单独销售)。


参数

指标

脉冲宽度

100fs-10ps

重复频率

单脉冲-2MHz

脉冲拾取器

单发脉冲,可根据需求基础脉冲任何细分

平均功率

最高80W

脉冲能量

最高2mJ

波长

1030nm、515nm、343nm、257nm、206nm

重复定位精度

±75nm(±50可选)

行程

25x25mm-300nmx300nm(可定制)


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