特点：

 ◆ 高制造速度-高达500毫米/秒（或更高的要求）；

 ◆ 具有亚微米分辨率的复杂物体的制造；

 ◆ 最小热影响区；

 ◆ 具有亚微米精度的精确物体定位；

 ◆ 高性能扫描振镜；

 ◆ 脉冲精确控制；

 ◆ 激光脉冲与运动目标的时空同步；

 ◆ 用于控制所有集成硬件设备的原创软件界面；

 应用：

 ◆ 陶瓷划片；

 ◆ 玻璃切割；

 ◆ 蓝宝石切割；

 ◆ 激光钻孔；

 ◆ 太阳能电池的制造；

 ◆ 双折射图案的制作；

 ◆ FBG刻写；

 ◆ 光通信元器件；

 ◆ 心血管支架加工；

 ◆ PI管微孔；

 高速度：

 高可靠的工业级飞秒激光微加工系统，同步线性定位位移台和扫描振镜，在高速非熔融加工中优势显著。

 纳米分辨率：

高分辨率目标定位系统、激光定位系统（扫描振镜）和激光脉冲选择器三者同步，实现对空间、时间和能量的完全控制。对难以加工的样品，可实现亚微米分辨率的加工。对于工业用飞秒激光微加工的技术规范，FemtoFAB是基于任务而定义，并达到优化。

 主要组成部分：

 ◆ 激光光源；

 ◆ 样品定位系统；

 ◆ 光束传递和扫描装置；

 ◆ 激光功率与偏振控制；

 ◆ 系统控制软件（可选自动对焦和机器视觉）；

 ◆ 样品夹持和特殊机械件（可选样品自动化处理）；

 ◆ 光学平台；

 ◆ 保护外壳（完整或部分）；

 ◆ 除尘装置；

◆ 激光微加工系统自动化软件 SCA（该软件是激光系统的重要组成部分，不单独销售） 。

应用实例：

玻璃垫片	蓝宝石切割厚度为 0.325 毫米。俯视图	钢化玻璃厚度 0.55 毫米，42 微米 DOL。俯视图
蓝宝石批量打标	钛涂层选择性烧蚀