PI过滤网	微透镜阵列	疏水改性
微流道	喷嘴阵列

 特点：

 ◆ 高亮度激光光斑，短脉冲；

 ◆ 掩膜投影光路，计算机控制连续缩倍；

 ◆ XY 电位移台，分辨率1μm，安装在坚固稳定的大理石基座上，可选配旋转台；

 ◆ 电动Z轴/调焦控制；

 ◆ TTL & navigation相机，所见即所得；

 ◆ ProcessPower和OptecCAD软件，兼容CAD/CAM文件；

 ◆ 快速响应，功能全面，界面友好；

 应用：

 ◆ 加工微孔/沟槽；

 ◆ 微量去除/表面成型；

 ◆ 制作3D结构，包括透镜；

 ◆ 金属薄膜上进行图样加工；

 ◆ OLEDS，微流体，传感器；

 ◆ 聚合物-陶瓷-金属-有机物；

 ◆ 选择性去除导线和接触面上的聚合物；

 ◆ 在聚合物和复合材料上加工沟槽/开孔；

 ◆ 在硬质材料上开微孔/刻槽；

 ◆ 在医用材料上加工深孔；

 ◆ 切割电子器件和传感器；

 主要指标：

 ◆ 激光器：波长193nm，248nm可选，重频200Hz，500Hz和1kHz可选；

 ◆ 光斑10-16X缩倍可切换；

 ◆ 可通过计算机选择32种掩膜图样，光斑尺寸 1-250μm；

 ◆ 到达加工件上的能量密度>10J/cm2，峰值2GW/cm2，可调；

 ◆ 12.5X电动调焦，调节范围50mm，12.5X - 1000X放大；

 ◆ 高稳定的大理石基座和龙门架结构；

 ◆ 同轴照明，彩色TTL影像；

 ◆ 加工分辨率高达1mm；