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激光微加工系统  飞秒激光器  WOP
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LSV3 准分子激光微加工系统

准分子激光器所产生的紫外激光在微加工时产生的热影响区域(HAZ)极小,可广泛适用于聚合物,陶瓷,玻璃,金属和薄膜材料等。LightShot可在聚合物和硬质材料上加工微孔和沟槽。该设备功能全面,占用空间小,性能优异。


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商品描述

准分子激光器所产生的紫外激光在微加工时产生的热影响区域(HAZ)极小,可广泛适用于聚合物,陶瓷,玻璃,金属和薄膜材料等。LightShot可在聚合物和硬质材料上加工微孔和沟槽。该设备功能全面,占用空间小,性能优异。



PI过滤网微透镜阵列疏水改性

微流道喷嘴阵列


特点:

高亮度激光光斑,短脉冲

掩膜投影光路,计算机控制连续缩倍

XY 电位移台,分辨率1μm,安装在坚固稳定的大理石基座上,可选配旋转台

电动Z轴/调焦控制

TTL & navigation相机,所见即所得

ProcessPower和OptecCAD软件,兼容CAD/CAM文件

快速响应,功能全面,界面友好


应用:

加工微孔/沟槽

微量去除/表面成型

制作3D结构,包括透镜

金属薄膜上进行图样加工

OLEDS,微流体,传感器

聚合物-陶瓷-金属-有机物

选择性去除导线和接触面上的聚合物

在聚合物和复合材料上加工沟槽/开孔

在硬质材料上开微孔/刻槽

在医用材料上加工深孔

切割电子器件和传感器


主要指标:

激光器:波长193nm,248nm可选,重频200Hz,500Hz和1kHz可选

光斑10-16X缩倍可切换

可通过计算机选择32种掩膜图样,光斑尺寸 1-250μm

到达加工件上的能量密度>10J/cm2,峰值2GW/cm2,可调

标配XY轴行程100mm×100mm,重复性2 m,绝对精<10 m(1 m可选)

12.5X电动调焦,调节范围50mm,12.5X - 1000X放大

高稳定的大理石基座和龙门架结构

同轴照明,彩色TTL影像

加工分辨率高达1μm


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