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LSV3 准分子激光微加工系统

LSV3 准分子激光微加工系统

准分子激光器所产生的紫外激光在微加工时产生的热影响区域(HAZ)极小,可广泛适用于聚合物,陶瓷,玻璃,金属和薄膜材料等。LightShot可在聚合物和硬质材料上加工微孔和沟槽。该设备功能全面,占用空间小,性能优异。


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商品描述

准分子激光器所产生的紫外激光在微加工时产生的热影响区域(HAZ)极小,可广泛适用于聚合物,陶瓷,玻璃,金属和薄膜材料等。LightShot可在聚合物和硬质材料上加工微孔和沟槽。该设备功能全面,占用空间小,性能优异。



PI过滤网

微透镜阵列

疏水改性


微流道

喷嘴阵列



 特点:

 ◆ 高亮度激光光斑,短脉冲;

 ◆ 掩膜投影光路,计算机控制连续缩倍;

 ◆ XY 电位移台,分辨率1μm,安装在坚固稳定的大理石基座上,可选配旋转台;

 ◆ 电动Z轴/调焦控制;

 ◆ TTL & navigation相机,所见即所得;

 ◆ ProcessPower和OptecCAD软件,兼容CAD/CAM文件;

 ◆ 快速响应,功能全面,界面友好;

 

 应用:

 ◆ 加工微孔/沟槽;

 ◆ 微量去除/表面成型;

 ◆ 制作3D结构,包括透镜;

 ◆ 金属薄膜上进行图样加工;

 ◆ OLEDS,微流体,传感器;

 ◆ 聚合物-陶瓷-金属-有机物;

 ◆ 选择性去除导线和接触面上的聚合物;

 ◆ 在聚合物和复合材料上加工沟槽/开孔;

 ◆ 在硬质材料上开微孔/刻槽;

 ◆ 在医用材料上加工深孔;

 ◆ 切割电子器件和传感器;

 

 主要指标:

 ◆ 激光器:波长193nm,248nm可选,重频200Hz,500Hz和1kHz可选;

 ◆ 光斑10-16X缩倍可切换;

 ◆ 可通过计算机选择32种掩膜图样,光斑尺寸 1-250μm;

 ◆ 到达加工件上的能量密度>10J/cm2,峰值2GW/cm2,可调;

 ◆ 12.5X电动调焦,调节范围50mm,12.5X - 1000X放大;

 ◆ 高稳定的大理石基座和龙门架结构;

 ◆ 同轴照明,彩色TTL影像;

 ◆ 加工分辨率高达1mm;

  

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