PI过滤网	微透镜阵列	疏水改性
微流道	喷嘴阵列

特点：

◆高亮度激光光斑，短脉冲

◆掩膜投影光路，计算机控制连续缩倍

◆XY 电位移台，分辨率1μm，安装在坚固稳定的大理石基座上，可选配旋转台

◆电动Z轴/调焦控制

◆TTL & navigation相机，所见即所得

◆ProcessPower和OptecCAD软件，兼容CAD/CAM文件

◆快速响应，功能全面，界面友好

应用：

◆加工微孔/沟槽

◆微量去除/表面成型

◆制作3D结构，包括透镜

◆金属薄膜上进行图样加工

◆OLEDS，微流体，传感器

◆聚合物-陶瓷-金属-有机物

◆选择性去除导线和接触面上的聚合物

◆在聚合物和复合材料上加工沟槽/开孔

◆在硬质材料上开微孔/刻槽

◆在医用材料上加工深孔

◆切割电子器件和传感器

主要指标：

◆激光器：波长193nm，248nm可选，重频200Hz，500Hz和1kHz可选

◆光斑10-16X缩倍可切换

◆可通过计算机选择32种掩膜图样，光斑尺寸 1-250μm

◆到达加工件上的能量密度>10J/cm2，峰值2GW/cm2，可调

◆标配XY轴行程100mm×100mm，重复性2 m，绝对精<10 m（1 m可选）

◆12.5X电动调焦，调节范围50mm，12.5X - 1000X放大

◆高稳定的大理石基座和龙门架结构

◆同轴照明，彩色TTL影像

◆加工分辨率高达1μm