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LBD 大功率 全自动Lift-Off(LLO)系统

Laser Blade Debonder(LBD)专为激光剥离(LLO)工艺优化设计。此系统采用一台外置准分子激光器,匀光系统线状激光束来进行高速生产。光束长度可自动调节切换,能适应任何尺寸的产品。Wafer自动装卸,自动对准,机械臂等功能模块均可提供。


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商品描述

Laser Blade Debonder(LBD)专为激光剥离(LLO)工艺优化设计。此系统采用一台外置准分子激光器,匀光系统线状激光束来进行高速生产。光束长度可自动调节切换,能适应任何尺寸的产品。Wafer自动装卸,自动对准,机械臂等功能模块均可提供。




特点:

激光器:308nm(248nm可选),Max. 200Hz

能量密度:50 - 600mJ/cm2

光斑宽度:1或1.2mm

光斑长度:22或45mm,75mm可选

焦深:> 0.5mm

电动对焦范围:25mm

能量衰减:5 - 100%

样品台:行程450×300mm,分辨率1μm,重复性< 2μm

加工区域:200×200mm,可定制


应用:

GaN氮化镓、AlN氮化铝LED 的LLO

柔性屏PI或者PI模组层与玻璃基板LLO

胶层与基板分离(Debonding)

折叠屏铰链减薄技术


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