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LBD 大功率 全自动Lift-Off(LLO)系统

LBD 大功率 全自动Lift-Off(LLO)系统

Laser Blade Debonder(LBD)专为激光剥离(LLO)工艺优化设计。此系统采用一台外置准分子激光器,匀光系统线状激光束来进行高速生产。光束长度可自动调节切换,能适应任何尺寸的产品。Wafer自动装卸,自动对准,机械臂等功能模块均可提供。


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商品描述

Laser Blade Debonder(LBD)专为激光剥离(LLO)工艺优化设计。此系统采用一台外置准分子激光器,匀光系统线状激光束来进行高速生产。光束长度可自动调节切换,能适应任何尺寸的产品。Wafer自动装卸,自动对准,机械臂等功能模块均可提供。




 特点:

 ◆ 激光器:308nm(248nm可选),Max. 200Hz;

 ◆ 能量密度:50 - 600mJ/cm2

 ◆ 光斑宽度:1或1.2mm;

 ◆ 光斑长度:22或45mm,75mm可选;

 ◆ 焦深:> 0.5mm;

 ◆ 电动对焦范围:25mm;

 ◆ 能量衰减:5 - 100%;

 ◆ 样品台:行程450×300mm,分辨率1μm,重复性< 2μm;

 ◆ 加工区域:200×200mm,可定制;

 

 应用:

 ◆ GaN氮化镓、AlN氮化铝LED 的LLO;

 ◆ 柔性屏PI或者PI模组层与玻璃基板LLO;

 ◆ 胶层与基板分离(Debonding);

 ◆ 折叠屏铰链减薄技术;

   

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