LBD 大功率全自动Lift-Off（LLO）系统

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Laser Blade Debonder（LBD）专为激光剥离（LLO）工艺优化设计。此系统采用一台外置准分子激光器，匀光系统线状激光束来进行高速生产。光束长度可自动调节切换，能适应任何尺寸的产品。Wafer自动装卸，自动对准，机械臂等功能模块均可提供。

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商品描述

Laser Blade Debonder（LBD）专为激光剥离（LLO）工艺优化设计。此系统采用一台外置准分子激光器，匀光系统线状激光束来进行高速生产。光束长度可自动调节切换，能适应任何尺寸的产品。Wafer自动装卸，自动对准，机械臂等功能模块均可提供。

特点：

◆激光器：308nm（248nm可选），Max. 200Hz

◆能量密度：50 - 600mJ/cm2

◆光斑宽度：1或1.2mm

◆光斑长度：22或45mm，75mm可选

◆焦深：> 0.5mm

◆电动对焦范围：25mm

◆能量衰减：5 - 100%

◆样品台：行程450×300mm，分辨率1μm，重复性< 2μm

◆加工区域：200×200mm，可定制

应用：

◆GaN氮化镓、AlN氮化铝LED 的LLO

◆柔性屏PI或者PI模组层与玻璃基板LLO

◆胶层与基板分离（Debonding）

◆折叠屏铰链减薄技术

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