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MLASE 准分子激光器

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商品描述


产品优势:

可靠性高,运行和维护费用低

空间相干性好,空间相干长度500-1500μm

风冷型25%负荷工作,水冷型可100%负荷持续工作

光斑能量分布均匀

固态开关取代闸流管,可长期使用,无老化现象

电晕预电离技术,先进的激光腔技术

全金属/陶瓷密封腔,激光腔寿命长达几十亿次脉冲

内置能量监控模块,用于能量稳定控制模式

紧凑型,体积小,单相供电

工业化设计,操作方便,易于集成

高功率型,FBG刻写专用型可选


技术参数

气体介质

ArF
ArFArFkrFkrFkrF

波长(nm)

193193193248248248

最大重复频率(Hz)

20050010002005001000

最高单脉冲能量(mJ)标准型

888121212

最高单脉冲能量(mJ)高功率型

121212161616

能量稳定性(sigma,%)

<2<2<2<2<2<2

光斑尺寸(FWHM,VxH mm)

6x36x36x36x36x36x3

光束发散角(FWHM,VxH mrad)

2x12x12x12x12x12x1

脉冲宽度(FWHM,ns)

5-105-105-105-155-155-15

激光腔寿命

大于20亿次脉冲


常规物理参数:

重量:约80kg

制冷方式:风冷/水冷 (可选)

供电要求: 230V,50/60Hz,最大需求功率2000W

尺寸(L×W×H):560×355×445mm



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