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MLASE 准分子激光器

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商品描述


产品优势：

◆可靠性高，运行和维护费用低

◆空间相干性好，空间相干长度500-1500μm

◆风冷型25%负荷工作，水冷型可100%负荷持续工作

◆光斑能量分布均匀

◆固态开关取代闸流管，可长期使用，无老化现象

◆电晕预电离技术，先进的激光腔技术

◆全金属/陶瓷密封腔，激光腔寿命长达几十亿次脉冲

◆内置能量监控模块，用于能量稳定控制模式

◆紧凑型，体积小，单相供电

◆工业化设计，操作方便，易于集成

◆高功率型，FBG刻写专用型可选


技术参数

气体介质

ArF
ArFArFkrFkrFkrF

波长（nm）

193193193248248248

最大重复频率（Hz）

20050010002005001000

最高单脉冲能量（mJ）标准型

888121212

最高单脉冲能量（mJ）高功率型

121212161616

能量稳定性（sigma,%）

<2<2<2<2<2<2

光斑尺寸（FWHM,VxH mm）

6x36x36x36x36x36x3

光束发散角（FWHM,VxH mrad）

2x12x12x12x12x12x1

脉冲宽度（FWHM,ns）

5-105-105-105-155-155-15

激光腔寿命

大于20亿次脉冲


常规物理参数：

◆重量：约80kg

◆制冷方式：风冷/水冷 （可选）

◆供电要求： 230V，50/60Hz，最大需求功率2000W

◆尺寸（L×W×H）：560×355×445mm



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