北京超立方科技有限公司
产品优势:
◆ 可靠性高,运行和维护费用低;
◆ 空间相干性好,空间相干长度500-1500μm;
◆ 风冷型25%负荷工作,水冷型可100%负荷持续工作;
◆ 光斑能量分布均匀;
◆ 固态开关取代闸流管,可长期使用,无老化现象;
◆ 电晕预电离技术,先进的激光腔技术;
◆ 全金属/陶瓷密封腔,激光腔寿命长达几十亿次脉冲;
◆ 内置能量监控模块,用于能量稳定控制模式;
◆ 紧凑型,体积小,单相供电;
◆ 工业化设计,操作方便,易于集成;
◆ 高功率型,FBG刻写专用型可选;
技术参数
气体介质
ArF
krF
波长(nm)
193
248
最大重复频率(Hz)
200
500
1000
最高单脉冲能量(mJ)标准型
8
12
最高单脉冲能量(mJ)高功率型
16
能量稳定性(sigma,%)
<2
光斑尺寸(FWHM,VxH mm)
6x3
光束发散角(FWHM,VxH mrad)
2x1
脉冲宽度(FWHM,ns)
5-10
5-15
激光腔寿命
大于20亿次脉冲
常规物理参数:
◆ 重量:约80kg;
◆ 制冷方式:风冷/水冷 (可选);
◆ 供电要求: 230V,50/60Hz,最大需求功率2000W;
◆ 尺寸(L×W×H):560×355×445mm;
北京办事处
地址:北京市大兴区旧忠路10号院10号楼1707室
电话:010-56407643
手机:18632279859
13810489503
网址:https://hisky-hk.com
邮箱:[email protected]
杭州办事处
地址:杭州市西湖区天目山路176号西湖数源软件园19号楼404室
电话:0571-89936757
郑州办公手机:18310120067