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激光微加工系统  飞秒激光器  飞秒激光微加工系统   准分子激光器
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MLASE  准分子激光器

MLASE 准分子激光器

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商品描述


 产品优势:

 ◆ 可靠性高,运行和维护费用低;

 ◆ 空间相干性好,空间相干长度500-1500μm;

 ◆ 风冷型25%负荷工作,水冷型可100%负荷持续工作;

 ◆ 光斑能量分布均匀;

 ◆ 固态开关取代闸流管,可长期使用,无老化现象;

 ◆ 电晕预电离技术,先进的激光腔技术;

 ◆ 全金属/陶瓷密封腔,激光腔寿命长达几十亿次脉冲;

 ◆ 内置能量监控模块,用于能量稳定控制模式;

 ◆ 紧凑型,体积小,单相供电;

 ◆ 工业化设计,操作方便,易于集成;

 ◆ 高功率型,FBG刻写专用型可选;


技术参数

气体介质

ArF

ArF

ArF

krF

krF

krF

波长(nm)

193

193

193

248

248

248

最大重复频率(Hz)

200

500

1000

200

500

1000

最高单脉冲能量(mJ)标准型

8

8

8

12

12

12

最高单脉冲能量(mJ)高功率型

12

12

12

16

16

16

能量稳定性(sigma,%)

<2

<2

<2

<2

<2

<2

光斑尺寸(FWHM,VxH mm)

6x3

6x3

6x3

6x3

6x3

6x3

光束发散角(FWHM,VxH mrad)

2x1

2x1

2x1

2x1

2x1

2x1

脉冲宽度(FWHM,ns)

5-10

5-10

5-10

5-15

5-15

5-15

激光腔寿命

大于20亿次脉冲


 常规物理参数:

 ◆ 重量:约80kg;

 ◆ 制冷方式:风冷/水冷 (可选);

 ◆ 供电要求: 230V,50/60Hz,最大需求功率2000W;

 ◆ 尺寸(L×W×H):560×355×445mm;



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