恒定脉冲能量：采用exciPure技术的IPEX-740/760系列准分子激光器，在单次换气后都具有无与伦比的动态和静态气体寿命。从单次到最大重复频率，脉冲能量在所有重复频率都恒定。这种方法保证了参数不会随激光器工作时间和重复频率的变化而改变。

恒定脉冲稳定性：采用先进的能量监测方式来调节脉冲能量，可以准确地调节放电电压和混合气体，所有工作条件下（包括Burst模式）都保持恒定的输出能量。脉冲与脉冲间稳定性优于1%。

恒定指向稳定性：高稳定性的核心光学元件支架，提供优于200μrad的指向稳定性，确保光学维修后不需要重新校准。

恒定光束质量：IPEX-740/760系列激光器的光束强度分布被设计为边缘陡峭，顶部平坦，保证在激光腔工作寿命内变化极小。