IPEX 840/860系列工业级准分子激光器

 ◆ 应用于电子、通信、医疗设备和脉冲激光沉积的工业级准分子激光器；

 ◆ 采用ICON技术，延长气体寿命，降低成本；

 ◆ EasyClean自动密封镜片功能，可在清洗更换镜片时密封激光腔；

 ◆ 可选高亮度光学元件，来满足要求小发散角和长相干长度的应用；

 ◆ 高稳定镜片支架可获得极高的光束指向精度；

 ◆ 易于集成到工业加工系统；

 特点：

 ◆ ICON激光腔；

 ◆ EasyClean自动密封镜片功能；

 ◆ 先进的镜片支架；

 ◆ 腔镜固定技术；

 ◆ 能量稳定控制；

 ◆ 预电离；

 ◆ 内部气体过滤设备；

 优点：

 ◆ 气体寿命长，更换时间间隔长，运行成本低；

 ◆ 简化了光路维护，填充气体和钝化效果保持长久；

 ◆ 200μrad指向稳定性；

 ◆ 镜片清洁重装后不需要重新调节；

 ◆ 快速、精确、稳定的能量控制，可选内、外触发和Burst工作模式；

 ◆ 优异的能量稳定性，≤1.5% (KrF)；

 ◆ 去除微粒，保持主镜片洁净；

 规格：

 激光器规格参数详见产品手册或者咨询我司销售。