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激光微加工系统  飞秒激光器  飞秒激光微加工系统   准分子激光器
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MLI-500LC / 1000LC 准分子激光器

MLI-500LC / 1000LC 准分子激光器

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商品描述


 主要特点:

 ◆ 工业化设计;

 ◆ 电晕预电离技术;

 ◆ 固态集成电路;

 ◆ 先进的激光腔技术;

 ◆ 能量监控;

 ◆ 紧凑型结构,占用空间小;

 ◆ 单相供电;

 

 优点:

 ◆ 可靠性高;

        — 运行于维护费用低于100%负载,既可持续工作。

 ◆ 光斑能量分布均匀;

 ◆ 可直接使用,无老化现象;

 ◆ 全金属密封腔;

 ◆ 激光腔的寿命长达几十亿次脉冲;

 ◆ 能量稳定;

 ◆ 操作方便,易于集成;

 ◆ 水冷散热


技术参数

气体介质

ArF

ArF

krF

krF

波长(nm)

193

193

248

248

最大重复频率(Hz)

500

1000

500

1000

稳定单脉冲能量(mJ)

8

8

12

12

稳定单脉冲功率(W)

4

8

6.0

12

能量稳定性(sigma,%)

2

2

2

2

光斑尺寸(FWHM,VxH mm)

6x3

6x3

6x3

6x3

光束发散角(FWHM,VxH mrad)

2x1

2x1

2x1

2x1

脉冲宽度(FWHM,ns)

5-10

5-10

5-15

5-15

激光腔寿命

大于20亿次脉冲


 常规物理参数:

 ◆ 重量:约80kg;

 ◆ 制冷方式:水冷;

 ◆ 供电要求: 230V,50/60Hz,最大需求功率2000W;

 ◆ 尺寸(L×W×H):560×355×445mm;



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