北京超立方科技有限公司
用于光纤布拉格光栅 (FBG) 写入的超紧凑、高效准分子激光器 。
ATLEX-500-FBG 主要特点:
◆ 软电晕预电离;
◆ 高压固态脉冲发生器;
◆ 激光头体积 < 3l;
◆ TMC(全金属陶瓷)容器;
◆ 集成真空泵和卤素过滤器;
◆ 风冷/可选液冷、主动热管理;
◆ 用于系统集成的 RS-485、RS232、USB 和光纤接口;
◆ 可冲洗的光学支架;
◆ 能量稳定模式;
◆ 动态风扇速度控制;
应用领域:
◆ 光纤布拉格光栅写入;
ATLEX-500-FBG 规格:
气体介质
ArF
KrF
单位
波长
193
248
nm
高压开关技术
固态开关
最大限度,脉冲能量1
10
15
mJ
最大限度,平均功率
4.0
6.5
W
空间相干性2(垂直光束方向)
>300
最大限度,重复率
500
Hz
脉冲持续时间2
5-8
ns
横梁尺寸2(V x H)
4x6
mm
光束发散度2 (V x H)
1x2
mrad
能量稳定性(标准差)
<3
%
尺寸(长x宽x高)
540 x 470 x 370
重量
60
kg
冷却
冷却空气/可选液体
电力需求
230 VAC / 6,3 A / 1 相 / 50-60 Hz
所有规格均为典型数据,如有更改,恕不另行通知。
1、以低重复率测量;配备稳定模式的激光器可减少 10% 的输出能量和功率。
2、典型值,半高宽。
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