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3轴精密位移台

3轴精密位移台

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商品描述

特征:

  • 柔性设计确保平稳连续运动。

  • 紧凑设计——从工作台到移动平台的距离为62.5毫米,从工作台到配件光学轴线的距离为75毫米。

  • 与传统轴承级不同,这种柔性铰链级通过无滑动部件避免了摩擦。

  • 柔性设计提升了长期稳定性,而传统线性轴承需要润滑脂才能运行,这会降低稳定性。

  • 所有调节器都连接到一个共同的基准,该基准与运动中的世界隔离,从而提供无与伦比的稳定性。

NanoMax 并联柔性平台
        当将这些阶段应用于需要亚微米级或更高分辨率的对准应用时,获得专利的MAX300系列平行柔性设计的优势便显而易见。通常,在多轴叠层平台上,若触碰未接地的两个驱动器中的任意一个,都会导致组件内部出现不希望发生的运动。在NanoMax™系列平台中,每个驱动器均直接耦合至平台底座,从而消除了这些不利影响。固定差动驱动器提供4毫米的粗调行程,以及300微米的精调行程范围,分辨率为每转50微米。

我们提供种类丰富的配件,可用于安装显微镜物镜、准直组件、波导、光纤等各类元件。此外,我们还备有多款适配板,可将NanoMax系列载物台安装到多种Thorlabs旋转平台和长行程线性平台上。

可选闭环内部压电致动器
        MAX311和MAX312内置了直接集成于平台主体的压电致动器,可实现20µm的行程范围,位置分辨率高达20nm。此外,MAX311还配备了三个应变片式位移传感器,这些传感器可提供与压电元件位移呈线性关系的电压信号。此信号用于补偿所有压电元件固有的迟滞、蠕变和热漂移。如果由采用平衡桥式电路的控制器驱动,压电执行器可实现闭环反馈控制,从而将位置分辨率从20纳米提升至5纳米。可通过该传感器监测并补偿滞后、机械蠕变和漂移。这些功能配合BNT001MNA601 NanoTrak控制器,可打造强大的自动对准解决方案,有效消除因热漂移或其他外部力导致的耦合效率下降问题。


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