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ML7300 EUV光谱仪

ML7300 EUV光谱仪

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商品描述

光学规格

  • 类型:带等高像面的光栅光谱仪。

  • 光学元件:像差校正成像反射光栅。

  • 入射:光栅2°倾斜调节。

  • 光谱范围:1至21纳米(配备多个光栅)。

  • 光谱分辨率:> 600(取决于光栅和光源的选择及探测器)。

  • 物体宽度:约237毫米。

  • 图像宽度:约235毫米。

  • 光谱长度:约25至30毫米。

  • 光谱宽度:高达27毫米(可选ML7300真空装置进行调节狭缝)。

  • 图像平面中相机的宽广对准范围;约50毫米。

  • 微米级调节(10纳米时为1微米)。可提供零级用于成像与校准。

机械规格

  • 进光法兰:DN100-ISO-CF。

  • 出光法兰:DN63-ISO (K)F 或 DN 6.75 英寸 CF。

  • 排气口:DN16针形阀,含在内。

  • 泵法兰:DN63。

  • 校准接口:DN63。

  • 兼容高压:所有材料均兼容高压的不锈钢和铝。

  • 尺寸:760 x 430 x 405 mm³。

  • 重量:约36千克。

  • 可使用锁定微米计调节旋转和倾斜。支点点位于像平面上。

配件

• 可按要求提供镀金光栅;

• 用于光栅的额外安装座(建议用于快速更换光栅,可节省重新对准时间);

• 来自Roper Scientific或metrolux的专用相机;

• 真空狭缝 ML7310(可选将系统用作光谱仪);

• 可根据要求定制设计的真空法兰;

• 校准激光器及狭缝,便于光栅轻松对准;

• 软件Beamlux II;

• 个人电脑或笔记本电脑;

• 激光同步装置或触发盒;

• 可调节高度的实验室推车(900毫米×750毫米×800毫米)


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