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用于光掩模的绿色感光材料

用于光掩模的绿色感光材料

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商品描述

VRP - 卤化银感光材料

VRP摄影底片是Agfa(Millimask)和柯达(HR-P、TE)底片的实用替代品。 这些基板专为微电子领域高精度光刻掩模的制造而设计。该材料还广泛应用于欧洲许多同步辐射装置中的布拉格衍射X射线断层扫描和放射成像技术。其高分辨率、高耐用性以及乳胶层与玻璃基底之间优异的附着力,使光刻图案的尺寸可小于2.5 微米将被记录。 所有照相底片通常以纸板包装供应,每包6片。标准尺寸的最大底片规格为406×300毫米。标准玻璃厚度为2.5毫米。所有底片均配有防晕光涂层。可根据要求提供定制玻璃尺寸及胶片基材,适用于任何乳剂。


VRP特性

参数

平均感光度,ISO
负片工艺:
反转工艺:


0.02
0.04

对比度,不小于:

5

最大密度,不小于:

3

光谱灵敏度最大值,nm:

525

光谱感光区域,纳米:

400-565

雾度密度,不大于:

0.02

分辨率,毫米⁻¹,不小于:

3,000

处理后乳剂层的强度,千克力,不小于:

0.9

乳液层变形温度,℃,不小于:

55


处理与操作建议:

- 在避光的非直射光线下开封并进行处理,使用深绿色滤光片(透射波长范围为530纳米及以下)。
- 处理液温度:20±2℃。

- 储存条件:湿度65%,温度12-15摄氏度。


用于口罩生产的VRP材料的推荐处理方法


负过程

溶液温度

曝光



显影

浓缩VRP显影液按1:5稀释于蒸馏水中, 4-5分钟

20

水洗

冲洗水3分钟

17±2

定影

定影液,5-10分钟

20

水洗

水3分钟

17±2

最后清洗

含润湿剂(Agepon)的水,1分钟

17±2

干燥

缓慢风干

20±4

反转过程



曝光



显影

浓缩VRP开发者以1:1.7比例稀释于蒸馏水中4-5分钟

20

水洗

冲洗水,3分钟

17±2

漂白

漂白 , 1.5分钟

20

水洗

冲洗水,3分钟

17±2

增亮

增亮剂 , 3分钟

20

水洗

冲洗水,5分钟

17±2

照明

500瓦灯, 距离乳剂70厘米,1分钟


第二次显影

浓缩VRP显影液以1:5比例稀释于蒸馏水中 - 3分钟

20

水洗

冲洗水,1分钟

17±2

定影

定影液 , 2分钟

20±4

水洗

冲洗水,3分钟

17±2

最终清洗

含润湿剂(Agepon)的水,1分钟

17±2

干燥

缓慢风干

20±4


用于X射线断层扫描和放射摄影的VRP材料处理方案:


化学品

温度

曝光



显影

柯达 RP X-OMAT 显影液, 5分钟

20

水洗

2分钟

17±2

定影

柯达 RP X-OMAT LO 定影液, 5分钟

20

水洗

水 10 分钟

17±2

干燥

缓慢风干

20±4


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