总体尺寸（长×宽×厚）

50.8毫米×50.8毫米×2.5毫米

25.4毫米×25.4毫米×1.25毫米

50.8毫米×50.8毫米×2.5毫米

图案区域

30.1毫米×30.1毫米

20.0毫米×20.0毫米

30.1毫米×30.1毫米

基材

透明钠钙浮法玻璃

透明玻璃粘合于白色背衬基板

透明玻璃粘合于白色背衬基板

涂层

外径＞3.0

外径＞3.0

外径＞3.0

公差

整体精度

±0.002毫米

±0.002毫米

±0.002毫米

线间距（中心到中心）

1.00±0.001毫米

1.00±0.001毫米

1.00±0.001毫米

线条厚度（中心线）

0.05毫米 ±0.002毫米

0.125毫米 ±0.005毫米

0.1毫米 ±0.002毫米

线条厚度（内线）

0.05毫米 ±0.002毫米

0.075毫米 ±0.005毫米

0.075毫米 ±0.002毫米

表面质量

有效区域20-10，外部60-40

有效区域20-10，外部60-40

有效区域20-10，外部60-40

平整度

每英寸3-4个波纹

每英寸3-4个波纹

每英寸3-4个波纹