北京超立方科技有限公司
新型高重频准分子激光器,专为工业应用设计。
主要特点:
- 全新技术的金属陶瓷腔;
- 电晕预电离;
- 固态开关;
- 特长动态和静态气体寿命(可达几个月)集成真空泵和卤素过滤器;
- 激光腔体6L;
- 风冷/水冷可选;
- 方便清洗的光学镜架;
- 模块化设计,易维护;
- 系统集成RS485,RS232,USB和FOC接口;
特性:
- 全新的设计,高重频,更适用各种工业应用;
- 气体寿命比ATLEX-I型有很大提升,镜片寿命更长,维护周期更长;
- 极快的脉冲上升时间和峰值功率密度;
技术规格 :
气体介质
ArF
krF
单位
波长
193
248
nm
高压开关技术
固体开关
最大脉冲能量1
10
15
mJ
最大平均功率
ATLEX-500-L
ATLEX-1000-L
4.0
8.0
6.5
W
最大重复频率
500
1000
Hz
脉冲宽度²
5-8
ns
光斑尺寸²(V x H)
6x4
mm
光束发散角²(V x H)
2x1
mrad
能量稳定性(标准差)
<2
%
尺寸(L x W x H)
600x415x567
重量
70
kg
冷却方式
风冷/水冷可选
电源要求
230VAC / 10A / /1phase / 50-60Hz
所有规格都是典型的数据,如产品有改进,恕不另行通知更改。
- 在最低重复频率情况下测得,能量稳定模式下会有10%的输出能量损失。
- 典型值, FWHM
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