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LBD 大功率 全自动Lift-Off（LLO）系统

LBD 大功率 全自动Lift-Off（LLO）系统

Laser Blade Debonder（LBD）专为激光剥离（LLO）工艺优化设计。此系统采用一台外置准分子激光器，匀光系统线状激光束来进行高速生产。光束长度可自动调节切换，能适应任何尺寸的产品。Wafer自动装卸，自动对准，机械臂等功能模块均可提供。


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商品描述

Laser Blade Debonder（LBD）专为激光剥离（LLO）工艺优化设计。此系统采用一台外置准分子激光器，匀光系统线状激光束来进行高速生产。光束长度可自动调节切换，能适应任何尺寸的产品。Wafer自动装卸，自动对准，机械臂等功能模块均可提供。



 特点：

 ◆ 激光器：308nm（248nm可选），Max. 200Hz；

 ◆ 能量密度：50 - 600mJ/cm2；

 ◆ 光斑宽度：1或1.2mm；

 ◆ 光斑长度：22或45mm，75mm可选；

 ◆ 焦深：> 0.5mm；

 ◆ 电动对焦范围：25mm；

 ◆ 能量衰减：5 - 100%；

 ◆ 样品台：行程450×300mm，分辨率1μm，重复性< 2μm；

 ◆ 加工区域：200×200mm，可定制；

 

 应用：

 ◆ GaN氮化镓、AlN氮化铝LED 的LLO；

 ◆ 柔性屏PI或者PI模组层与玻璃基板LLO；

 ◆ 胶层与基板分离（Debonding）；

 ◆ 折叠屏铰链减薄技术；

   

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