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ATLEX-M 高重频准分子激光器

ATLEX-M 高重频准分子激光器

新一代紧凑型风冷式，高重复率的准分子激光器，专为低、中占空比应用设计。

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商品描述

新一代紧凑型风冷式，高重复率的准分子激光器，专为低、中占空比应用设计。

 主要特点：

 ◆ 超快电晕预电离技术；

 ◆ HV-固态脉冲发生器；

 ◆ 激光腔体<3L；

 ◆ 全新技术的金属陶瓷腔；

 ◆ 集成真空泵和卤素过滤器；

 ◆ 全部风冷，温度控制；

 ◆ 系统集成RS485，RS232，USB和FOC接口；

 ◆ 能量稳定模式；


应用：

 ◆ 微加工；

 ◆ 激光烧蚀；

 ◆ 医学（屈光手术）；

 ◆ 光谱学；

 ◆ 计量；


 技术规格：

气体介质

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF


波长

157

193

248

308

351

nm

高压开关技术

固态开关


最大脉冲能量1

1

10

15

8

7

mJ

最大平均功率

ATLEX-300-I

ATLEX-500-I


0.2

0.5


2.4

4.0


4.0

6.5


2.0

3.0


1.7

2.5


W

W

最大重复频率

ATLEX-300-I

ATLEX-500-I


300

500

Hz

Hz

脉冲宽度25-8ns
光斑尺寸2(V x H)4x6mm
光束发散角2(V x H)1x2mrad
能量稳定性（标准差）<3
%
尺寸 (L x W x H) 540x470x370mm
重量60kg
冷却方式风冷
电源要求
230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz


 所有规格都是典型的数据，如产品有改进，恕不另行通知更改。

 1 在最低重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。

 2 典型值, FWHM。


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