北京超立方科技有限公司
特性:
在X、Y和Z方向上实现90 µm的压电运动,驱动电压为75 V;
三个安装面,每个面均带9个安装孔;
紧凑尺寸(55 mm x 55 mm x 55 mm);
基于挠曲的设计提供平稳连续的运动和高刚度;
高谐振频率可最大程度地降低外部振动的影响;
可选应变片传感器提供重复性(50 纳米);
压电块TM90 µm XYZ 位移器
PiezoBlock™ 3轴位移器为3轴压电驱动纳米定位提供了一种独特解决方案。这款紧凑型位移器每边仅55毫米(2.2英寸),可在三个正交方向上实现90微米的压电控制位移。相对较长的压电控制行程是通过一个大位移压电堆栈实现的,该堆栈经机械放大后可提供高达90 µm的完整行程。这一内部机构基于柔性铰链设计;它本身具有极低的摩擦和高刚度,使PiezoBlock能够以较短的稳定时间和极高的重复性进行定位。
25 纳米定位分辨率实现全行程所需的驱动电压为75 V,而位移分辨率通常受限于用于为执行器供电的压电驱动器。PiezoBlock™ 已通过干涉测量法进行了测试,以验证其25 nm的分辨率指标;该测试由Thorlabs完成。型号BPC201压电驱动器。Thorlabs还提供多种其他驱动选项,从简单的开环驱动器到闭环自动对准系统,后者可实现针对纳米定位应用的自动化控制。您可通过以下链接查看这些其他驱动选项:运动控制电子链接.
压电块TM创新PiezoBlock™ 平台配备了与我们的MicroBlock™和NanoMaxTM平台相同的带槽顶板,便于快速进行系统重新配置。此外,还附带一块底板,可将其固定到工作表面上。通过随附底板和顶板一起发货的APB301和APB302,整套组件的标准台面高度为62.5毫米,从而与我们其他平台产品相匹配。APBP2适配板可将任意一款PiezoBlock™ 3轴位移器安装到我们的LNR或NRT长行程平台上(请参阅页面顶部的应用示意图)。它随附六个1/4-20(M6)带帽螺钉、六个1/4-20(M6)尼龙垫圈以及一把3/16(6毫米)内六角扳手。除了这款适配器外,Thorlabs还提供种类丰富的配件用于PiezoBlock™,使其成为众多研发和工业应用的理想工具。
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