特性

• 运动范围：
  X、Y、Z：0.16英寸（4毫米）
  θx、θy、θz：6°。

• 用于闭环操作的可选压电执行器；

• 高刚度柔性设计：X和Z方向均为1 N·m，Y方向为0.5 N·m；

• 高谐振频率：大于130 Hz（±10%）；

• 整体式单移动平台设计；

• 带固定驱动器的专利平行柔性机构；

• 所有自由度共用一个枢轴点，简化了对准流程；

• 低维护机制，实现低总体拥有成本；

NanoMax™ 600 为何更出色
        对于复杂的多轴定位，将三个或更多自由度集成到单个紧凑单元中的并联柔性平台，其性能显著优于串联排列的平移平台。Thorlabs获得专利的并联柔性技术是NanoMax™纳米定位平台系列的核心。

九种型号可供选择

我们提供采用差动微米计或步进电机驱动的预配置单元，可选配压电促动器、仅含压电促动器，或同时配备压电促动器与位移传感器。此外，我们还提供基础单元，该单元不包含驱动器，但可选配压电促动器或压电促动器与位移传感器，方便您自行组合使用步进电机、差动微米计或旋钮式促动器。我们的基本单元也提供右旋和左旋两种版本。如果选择的型号不带集成压电控制，我们提供可加装至任何驱动器的外部压电扩展器。