X、Y 和 Z 轴相互解耦,以在调整过程中最大限度地提高稳定性 当将获专利的MAX300系列平行柔性设计应用于需要亚微米级或更高分辨率的对准应用时,其优势便一目了然。通常,在多轴叠层平台上,若触碰未接地的两个驱动器中的任何一个,都会导致组件内部出现不希望发生的运动。在NanoMax™系列平台中,每个驱动器均直接耦合至平台底座,从而消除了这些不利影响。固定差动驱动器提供4毫米的粗调行程以及250微米的精调行程范围,分辨率为每转50微米。在粗调和精调行程上刻制的刻度线,为需要绝对定位的应用提供了清晰的参考点。