特征：

• 柔性设计确保平稳连续运动。

• 紧凑设计——从工作台到移动平台的距离为62.5毫米，从工作台到配件光学轴线的距离为75毫米。

• 与传统轴承平台不同，这种柔性平台通过无滑动部件的方式避免了摩擦。

• 柔性设计提高了长期稳定性，而传统线性轴承需要润滑脂才能运行，这会降低稳定性。

• 所有调节器都连接到一个共同的基准，该基准与运动中的世界隔离，从而提供无与伦比的稳定性

NanoMax 并联柔性平台
        当将获专利的MAX300系列平行柔性设计应用于需要亚微米级甚至更高分辨率的对准应用时，其优势便一目了然。通常，在多轴叠层平台上，若触碰未接地的两个驱动器中的任何一个，都会导致组件内部出现不希望发生的运动。由于NanoMax™系列平台的每个驱动器均直接耦合至平台底座，因此可消除这些不利影响。我们提供种类丰富的配件，可用于安装显微镜物镜、准直组件、波导、光纤等各类元件。此外，还提供多种适配板，可将NanoMax系列平台安装到各种其他Thorlabs旋转平台和长行程线性平台上。

高分辨率步进电机驱动器
        随MAX341、342和343型号配套提供的执行器的分辨率为25纳米。这些执行器的最高速度可达4毫米/秒，双向重复精度优于1.0微米RMS。配备陶瓷尖端的高精度限位开关具有出色的重复性，非常适合用于电机的归零操作。这一点对于依赖高度可重复零点的自动对准应用至关重要。

闭环内部压电执行器
        MAX342和MAX341内置了直接集成于平台主体的压电驱动器，可实现20µm的行程范围，位置分辨率高达20nm。此外，MAX341还配备了三个应变片式位移传感器，这些传感器可提供与压电元件位移呈线性比例关系的电压信号。该信号用于补偿所有压电元件固有的迟滞、蠕变和热漂移现象。如果由采用平衡桥电路的控制器驱动，压电驱动器便可实现闭环反馈控制模式，从而将位置分辨率从20nm提升至5nm。

        通过该传感器，可对迟滞、机械蠕变和漂移进行监测与补偿。这些特性结合了或NanoTrak控制器可打造功能强大的自动对准解决方案，有效消除因热漂移或其他外部力导致的耦合效率下降问题。其模块化设计允许通过在DRV001步进电机执行器串联安装额外的压电延伸器，来增大压电行程。这些特性相结合，使MAX341柔性平台成为高稳定性与高重复性自动对准应用的理想平台。