功能

• 柔性设计确保平稳连续运动。

• 紧凑设计——从台面到移动平台的距离为62.5毫米，从台面到配件光学轴线的距离为75毫米

• 与传统轴承平台不同，这种柔性平台通过无滑动部件的方式避免了摩擦

• 柔性设计提升了长期稳定性，而传统线性轴承运行时需涂抹润滑脂，这会损害稳定性

• 所有调节者都与一个共同的基点相连，该基点与变动的世界隔离开来，从而提供无与伦比的稳定性

NanoMax 并联柔性平台

当该平台应用于需要亚微米级或更高分辨率的对准应用时，获得专利的MAX300系列平行柔性设计的优势便显而易见。通常，在多轴叠层平台上，若触碰未接地的两个驱动器中的任何一个，都会导致组件内部出现不希望发生的运动。在NanoMax™系列平台中，每个驱动器均直接耦合至平台底座，从而消除了这些不利影响。我们提供种类繁多的配件，可用于安装各类元件，例如显微镜物镜、准直组件、波导、光纤等等。此外，还提供多种适配板，可将NanoMax系列平台安装到各种其他Thorlabs旋转和长行程线性平台上。

六种模块化驱动选项，可在现场不到一分钟内完成驱动器配置

无论应用是采用DRV014模块化拇指螺钉进行多模光纤耦合，还是使用DRV001步进电机驱动实现自动对准，相同的NanoMax平台均可即时重新配置。NanoMax模块化设计使您能够在现场随时对设备进行升级或降级，整个过程仅需几分钟。

闭环内部压电执行器

MAX301和MAX302内置了直接集成于平台本体内的压电致动器，其行程范围为20µm，位置分辨率高达20nm。此外，MAX301配备了三个应变片式位移传感器,可输出与压电元件位移呈线性比例关系的电压信号。该信号用于补偿所有压电元件固有的迟滞、蠕变及热漂移现象。若由采用平衡桥路电路的控制器驱动，压电致动器便可实现闭环反馈控制模式，从而将位置分辨率从20nm提升至5nm。通过这些传感器，可对迟滞、机械蠕变和漂移进行监测与补偿。模块化设计使得用户可通过在我们的大行程解决方案（如DRV001步进电机执行器或DRV002差动调节器）中串联安装额外的压电延长器，进一步增大压电行程。这些特性与BNT001或MNA601NanoTrak控制器，可打造强大的自动对准解决方案，有效消除因热漂移或其他外部力导致的耦合效率降低问题。