气介质

F2 

arf 

KRF 

XECL 

xef 

单位 

波长

 157

 193

 248

 308 

351 

NM 

高压开关技术 

固态开关 

最大脉冲能¹

 1

 8 

15

 8

7 

 MJ 

稳定的脉搏能 

0.5 

4 

8 

4 

3.5 

MJ 

稳定的平均功率
ATLEX-300-I
ATLEX-500-I

0.15

0.25

1.2
2

2.4
4

1.2
2

1
1.7

w
w

最大限度。代表率
ATLEX-300-I
ATLEX-500-I

300
500

Hz
Hz

脉冲持续时间²

5 - 8 

NS 

梁尺寸²（V x H）

 4 x 6 

毫米 

梁发散²（v x h） 

1 x 2 

MRAD 

能量稳定性（标准偏差） 

<2 

％ 

尺寸（LXWXH） 

540 x 470 x 370  

毫米

重量 

60 

公斤 

冷却 

空气 /液体 

电源要求 

230 VAC / 6,3 A / 1相 / 50-60 Hz 

所有规格都是典型的数据，并且会因产品改进而导致不通知而发生变化。

1在20Hz时测量；允许配备稳定模式的激光减少10％的输出能量和功率。

2典型价值，fwhm